안녕하세요
오늘은
원익홀딩스에서 분리되어
반도체 디스플레이 그리고 solar cell 장비를
다루는 원익IPS에 대해 알아보려고 합니다
원익IPS는 반도체 공정에 필요한
제품을 만드는 기업이라고 할 수 있습니다
2018년 기준 전 세계에서
17위에 위치한
반도체 공정장비업체입니다
원익IPS의 주력 반도체 장비는 '제미니(GEMINI)' 플라즈마화학기상증착(PECVD) 시스템이 꼽힙니다
반사방지막(anti-reflective coating)과 하드마스크(hardmask) 절연막(dielectric)을 증착하는데 쓰입니다
반도체 고객사에서는 20nm 이하 D램공정과
로직 디바이스 생산용 더블 패터닝(DPT), 쿼드패터닝(QPT) 하드마스크 공정에
제미니 PECVD 장비를 쓰고 있습니다
또한 19년도에 원익IPS는 원익테라세미콘과 합병으로 인하여
열처리 장비 라인업이 강화되었습니다
100~1350도(°C) 온도 영역에 대응하는 반도체 장비를 갖추고 있습니다
저온(100~400도) 장비는 구리 어닐링(annealing), 합금(alloy) 공정 등에 사용됩니다
중온(400~1000도)장비는 열산화(thermal oxidation), 어닐링, 플로우(flow) 공정에,
고온(1000-1350도) 장비는 웰 드라이브 인(well drive in), 고밀화(densification) 등에 쓰입니다
이 외에도 디스플레이 공정에 필요한 장비도 갖추고 있습니다
flexible OLED의 기판인 PI필름을 만드는데 쓰이는
PI Curing 제품을 생산하고 있습니다
이렇듯 원익IPS는 국내 최대규모의
반도체 장비 관련 주 입니다
올해 2021년
메모리 반도체의 슈퍼사이클이 예상되는 가운데
삼성전자와 하이닉스를 선두로
메모리반도체 공정의 호황기가 확실시 될 경우
앞으로의 미래가 기대되는
기업입니다
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